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정밀 화학

40년 이상 축적된 다양한 경험과 기술의 신뢰받는 비즈니스 파트너 소니드(주)

  • 프로세스 케미컬

    PROCESS CHEMICAL

  • 반도체/디스플레이 제조 공정용 필수 화학소재인 프로세스케미컬은
    각 공정의 수율에 영향을 미치며 금속,전기,전자등 대부분의 산업분야에 사용되고 있습니다.

프로세스 케미컬 주요 제품

구분 제품군 제품 용도
반도체 Etchant BOE Series , Wafer-E, Metal-E, 50% HF 실리콘 산화막 & 질화막 제거
Thinner PGMEA , PGME 등 Solvent 혼합물 EBR (Edge Bead Remover)
Developer TMAH 혼합물 포토레지스트
Solvent KOH, IPA, ACETONE, ETHANOL 세정
디스플레이 Etchant Pixel-E, Metal Pattern-E 포토마스크 금속막 제거하여 패턴 형성
Stripper Posi.PR , DFR (유, 무기) 포토레지스트 및 폴리머제거
Cleaner 수용성 세정제 오일 및 유,무기물
Thinner PGMEA, PGME 등 Solvent 혼합물 EBR (Edge Bead Remover)
Developer TMAH, KOH, Na2CO3 포토레지스트, DFR
기타 폐수처리 가성소다 25%외 농도 별 공급 가능  

PRODUCT

  • 현상액(Developer)

    제품소개
    반도체 / 디스플레이 제조공정 중 리소그래피 공정에서 자외선에 노출된 감광제 (PR&DFR)영역을 선택적으로 용해함으로 금속배선을 형성하는 기능을 가진 제품으로 유,무기타입을 기반으로한 현상액 및 공정 특성에 부합하는 다양한 제품을 공급하고 있습니다.
    적용용도
    Photomask , Semiconductor , LCD , LED , TSP

  • 금속 배선 형성용 식각액 (Etchant)

    제품소개
    식각액은 반도체/디스플레이 표면의 금속막,절연막 등을 화학반응을 이용하여 패턴을 형성하거나 반도체 제조 공정에서는 실리콘 산화막을 제거하는 용도로 사용됩니다.
    적용용도
    Photomask , Semiconductor , LCD , LED , TSP

  • 실리콘 웨이퍼 표면 식각액 (Etchant)

    제품소개
    반도체 건식 식각에 사용되는 샤워헤드의 표면을 식각하는 약품으로 원료의 배합 기술 및 첨가제 응용기술을 기반으로 E/Rate 제어 , 우수한 표면 선택성을 가지는 제품입니다.
    적용용도
    Shower head , Ring , Silicon other parts

  • 실리콘 Hole 식각액 (Etchant)

    제품소개
    소재 표면에 플라즈마 가스가 통과될 수 있게 홀을 가공 시 소재 내부에 발생 된 DoD(Depth of Damage)를 제거하는 약품으로 원료의 배합 기술 및 첨가제 응용기술을 기반으로 E/Rate 제어가 가능한 제품입니다.
    적용용도
    Shower head , Silicon other parts

  • 박리액(Stripper)

    제품소개
    반도체 / 디스플레이의 제조 공정 중 식각을 거친 포토레지스트(감광성 고분자물질) 잔류분을 제거하는데 사용되는 특수용제이며 각 제조 공정의 특수성에 맞추어 다양한 박리액 제품을 공급하고 있습니다.
    적용용도
    Photomask , Semiconductor , LCD , LED , TSP

  • 기능성 Chemical (Cleaner)

    제품소개
    반도체 / 디스플레이의 제조 공정 중 발생하는 유,무기잔여물,파티클 등의 각종 오염물질을 표면으로부터 효과적으로 제거하기 위한 제품입니다.
    적용용도
    Photomask , Semiconductor , LCD , LED , TSP

  • 친환경 폐수처리용 케미칼

    제품소개
    산업 시설의 폐수처리 관리 감독 강화로 인해 기존 일반폐수처리 방법에서 유독물을 최소화하는 방법(친환경공법)으로 정화용 케미컬의 수요가 변화하고 있습니다.당사는 유독물이 아니면서 중화능력이 높고 슬리지 발생이 없어 사용에 용이합니다.
    적용용도
    반도체 폐수 pH조정제 , 폐수 중화제

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